我的一九八五第一三八六章 光刻机的现状下

“董事长要是Nikon在我们之前率先攻克157nm激光器技术率先研发成功65nm制程工艺的光刻机我们如何应对？” CTO汤普森知道EUV光刻机不是短时间内能研制成功的也主张两条腿走路GCA研究院如今也在研发157nm激光器由于GCA一直以研发EUV为主157nm激光器的技术远不如Nikon和SVG投资10美元要是能够收购SVG拿到SVG独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术不能反超Nikon也能同Nikon并肩齐驱。

孙董事长不同意公司收购SVG汤普森也不理解。

EUV LLC联盟规划投资2亿美元集合200多位顶尖科学家目的就是从理论上验证了EUV光刻机的可行性？理论验证完成后EUV LLC联盟将宣布解散将研制EUV和EUV光刻机的难题交给GCA据同行在一起估算研发投资起码要花50亿美元！ 汤普森领导EUV LLC联盟的200多位科学家研究了2年多还没有验证清楚EUV光刻机的可行性？ “汤普森院长的担忧也有道理除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外艾德里安先生可以同Papken先生接触一下看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利？价格可以商量?” Papken是SVG的首席执行官。

孙健本来不想在董事会上谈论收购SVG的事情但汤普森的提问代表GCA高层的疑惑不得不正面回应。

当时因为BSEC研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术孙健不反对GCA研究院两条腿走路但BSEC研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术GCA再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举但也不能打击众人的积极性。

“好的董事长！” 艾德里安心里好奇为什么孙董事长不同意收购SVG？似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持难道还有更好的方法？明白Papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。

“汤普森院长EUV LLC联盟一旦从理论上验证了EUV光刻机的可行性后要是GCA继续研发EUV光刻机理论上大概需要多少投资?” 孙健转移话题也是告诉公司高层GCA账上的现金流不是多了而是远远不够。

前世EUV LLC联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多发表了几百篇科研论文从理论上验证了EUV光刻机是可行的目的达到解散了EUV LLC联盟接下来的实际问题都抛给了ASML面对如此高深的技术ASML是选择做还是不做？ ASML一家之力不可能完成研制成功EUV光刻机这项宏伟工程不得不拿出公司近三成的股权向下游光刻机重要客户Intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元！ 据说为了研发EUV光刻机ASML前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。

GCA和Nikon占据光刻机的高端市场技术水平不分仲伯但由于高端光刻机用户Intel、IBM、IT、ADM、HP同GCA既是Sematech会员又是GCA的股东采用一致对外的策略GCA的高端光刻机是首选GCA如今占据全球高端市场份额的近7成NiKon占3成多。

在技术水平相同的情况下市场起决定因素。

根据光刻机技术和市场占有率GCA如今成为名副其实的全球老大Nikon屈居第二。

Nikon想从GCA的手里抢回Intel、IBM、IT、ADM、HP的高端光刻机订单只能率先攻克193nm波长的世界性难题第一个研发成功65nm制程工艺的光刻机才有可能。

在Nikon技术领先的情况下Intel、IBM、IT、ADM、HP就会以公司的利益为重。

ASML的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发于1996年9月研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统但为时已晚ASML和其他光刻机公司都购买了BSEC的专利技术自己生产光刻机双工作平台系统BSEC负责升级；除了GCA其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1%的专利使用费。

GCA如今已经升级配套90nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术遥遥领先于ASML的技术按照专利技术转让协定BSEC交给了Nikon、ASML、Canon和SVG。

全球光刻机用户已经习惯使用BSEC磁悬浮式双工作台系统技术ASML在中高端光刻机上还是使用BSEC的在低端光刻机上使用自研的。

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